ASTM F1593-08
Método de prueba estándar para trazas de impurezas metálicas en aluminio de calidad electrónica mediante espectrómetro de masas de descarga luminosa de alta resolución

Estándar No.

ASTM F1593-08

Fecha de publicación

2008

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Estado

Remplazado por

ASTM F1593-08(2016)

Ultima versión

ASTM F1593-08(2016)

Alcance

Este método de prueba está destinado a su aplicación en la industria de semiconductores para evaluar la pureza de materiales (por ejemplo, objetivos de pulverización catódica, fuentes de evaporación) utilizados en procesos de metalización de película delgada. Este método de prueba puede ser útil en aplicaciones adicionales, no previstas por el comité técnico responsable, según lo acordado por las partes interesadas. Este método de prueba está destinado a los analistas de GDMS en varios laboratorios para unificar el protocolo y los parámetros para determinar trazas de impurezas en aluminio puro. El objetivo es mejorar la concordancia de los datos de análisis entre laboratorios. Este método de prueba también está dirigido a los usuarios de análisis GDMS como ayuda para comprender el método de determinación y la importancia y confiabilidad de los datos GDMS informados. Para la mayoría de las especies metálicas, el límite de detección para análisis de rutina es del orden de 0,01 ppm en peso. Con precauciones especiales, son posibles límites de detección a niveles inferiores a ppb. Este método de prueba puede usarse como método de referencia para productores y usuarios de materiales de aluminio de grado electrónico. 1.1 Este método de prueba cubre la medición de las concentraciones de trazas de impurezas metálicas en aluminio de alta pureza. 1.2 Este método de prueba pertenece al análisis mediante espectrómetro de masas de descarga luminosa de sector magnético (GDMS). 1.3 La matriz de aluminio debe tener una pureza del 99,9 % en peso (grado 3N), o más pura, con respecto a impurezas metálicas. No debe haber ningún componente principal de la aleación, por ejemplo, silicio o cobre, en una concentración superior a 1000 ppm en peso. 1.4 Este método de prueba no incluye toda la información necesaria para completar los análisis GDMS. Se requiere equipo de laboratorio sofisticado controlado por computadora y utilizado hábilmente por un operador experimentado para lograr la sensibilidad requerida. Este método de prueba cubre los factores particulares (por ejemplo, preparación de muestras, establecimiento de factores de sensibilidad relativa, determinación de límites de sensibilidad, etc.) que el comité técnico responsable sabe que afectan la confiabilidad de los análisis de aluminio de alta pureza. 1.5 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM F1593-08 Documento de referencia

• ASTM E1257 Guía estándar para evaluar los materiales de molienda utilizados para la preparación de superficies en análisis espectroquímicos
• ASTM E135 Terminología estándar relacionada con la química analítica de metales, minerales y materiales relacionados
• ASTM E177 Práctica estándar para el uso de los términos precisión y sesgo en los métodos de prueba ASTM
• ASTM E691 Práctica estándar para realizar un estudio entre laboratorios para determinar la precisión de un método de prueba

ASTM F1593-08 Historia

• 2008 ASTM F1593-08(2016) Método de prueba estándar para trazas de impurezas metálicas en aluminio de calidad electrónica mediante espectrómetro de masas de descarga luminosa de alta resolución
• 2008 ASTM F1593-08 Método de prueba estándar para trazas de impurezas metálicas en aluminio de calidad electrónica mediante espectrómetro de masas de descarga luminosa de alta resolución
• 1997 ASTM F1593-97(2002) Método de prueba estándar para trazas de impurezas metálicas en aluminio de calidad electrónica mediante espectrómetro de masas de descarga luminosa de alta resolución
• 1997 ASTM F1593-97 Método de prueba estándar para trazas de impurezas metálicas en aluminio de calidad electrónica mediante espectrómetro de masas de descarga luminosa de alta resolución