ASTM F1710-97(2002) Método de prueba estándar para trazas de impurezas metálicas en titanio de grado electrónico mediante espectrómetro de masas de descarga luminosa de alta resolución
Este método de prueba está destinado a su aplicación en la industria de semiconductores para evaluar la pureza de materiales (por ejemplo, objetivos de pulverización catódica, fuentes de evaporación) utilizados en procesos de metalización de película delgada. Este método de prueba puede ser útil en aplicaciones adicionales, no previstas por el comité técnico responsable, según lo acordado entre las partes interesadas. Este método de prueba está diseñado para que lo utilicen analistas de GDMS en varios laboratorios para unificar el protocolo y los parámetros para determinar trazas de impurezas en titanio puro. El objetivo es mejorar la concordancia de los datos de análisis entre laboratorios. Este método de prueba también está dirigido a los usuarios de análisis GDMS como ayuda para comprender el método de determinación y la importancia y confiabilidad de los datos GDMS informados. Para la mayoría de las especies metálicas, el límite de detección para análisis de rutina es del orden de 0,01 ppm en peso. Con precauciones especiales, son posibles límites de detección a niveles inferiores a ppb. Este método de prueba puede usarse como método de referencia para productores y usuarios de materiales de titanio de grado electrónico. 1.1 Este método de prueba cubre la determinación de concentraciones de trazas de impurezas metálicas en titanio de alta pureza. 1.2 Este método de prueba pertenece al análisis mediante espectrómetro de masas de descarga luminosa de sector magnético (GDMS). 1.3 La matriz de titanio debe tener una pureza del 99,9 por ciento en peso (grado 3N), o más pura, con respecto a las impurezas metálicas. No debe haber ningún componente importante de la aleación, por ejemplo, aluminio o hierro, en una concentración superior a 1000 ppm en peso. 1.4 este método de prueba no incluye toda la información necesaria para completar los análisis GDMS. Se requiere equipo de laboratorio sofisticado controlado por computadora y utilizado hábilmente por un operador experimentado para lograr la sensibilidad requerida. Este método de prueba cubre los factores particulares (por ejemplo, preparación de muestras, configuración de factores de sensibilidad relativa, determinación de límites de sensibilidad, etc.) que el comité técnico responsable conoce para afectar la confiabilidad de los análisis de titanio de alta pureza. 1.5 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.
ASTM F1710-97(2002) Historia
2008ASTM F1710-08(2016) Método de prueba estándar para trazas de impurezas metálicas en titanio de grado electrónico mediante espectrómetro de masas de descarga luminosa de alta resolución
2008ASTM F1710-08 Método de prueba estándar para trazas de impurezas metálicas en titanio de grado electrónico mediante espectrómetro de masas de descarga luminosa de alta resolución
1997ASTM F1710-97(2002) Método de prueba estándar para trazas de impurezas metálicas en titanio de grado electrónico mediante espectrómetro de masas de descarga luminosa de alta resolución
1997ASTM F1710-97 Método de prueba estándar para trazas de impurezas metálicas en titanio de grado electrónico mediante espectrómetro de masas de descarga luminosa de alta resolución