1.1 El propósito de esta guía es proporcionar al analista de espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS) dos procedimientos para determinar los factores de sensibilidad relativa (RSF) a partir de estándares externos implantados con iones. Esta guía se puede utilizar para obtener los RSF de oligoelementos (1 % atómico). Además, esta guía no describe los procedimientos para obtener RSF de implantes en muestras heterogéneas (ya sea lateralmente o en profundidad).1.3 Los valores indicados en unidades SI deben considerarse como el estándar.1.4 Este estándar no pretende abordar todos de los problemas de seguridad, si los hubiera, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.
ASTM E1505-92(1996) Historia
1992ASTM E1505-92(2001) Guía estándar para determinar los factores de sensibilidad relativa de SIMS a partir de estándares externos implantados con iones
1992ASTM E1505-92(1996) Guía estándar para determinar los factores de sensibilidad relativa de SIMS a partir de estándares externos implantados con iones