ASTM F1845-97(2002)
Método de prueba estándar para trazas de impurezas metálicas en aleaciones de aluminio-cobre, aluminio-silicio y aluminio-cobre-silicio de grado electrónico mediante espectrómetro de masas de descarga incandescente de alta reducción de masa

Estándar No.

ASTM F1845-97(2002)

Fecha de publicación

1997

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Estado

Remplazado por

ASTM F1845-08

Ultima versión

ASTM F1845-08(2016)

Alcance

Este método de prueba está destinado a su aplicación en la industria de semiconductores para evaluar la pureza de materiales (por ejemplo, objetivos de pulverización catódica, fuentes de evaporación) utilizados en procesos de metalización de película delgada. Este método de prueba puede ser útil en aplicaciones adicionales, no previstas por el comité técnico responsable, según lo acordado entre las partes interesadas. Este método de prueba está diseñado para que lo utilicen analistas de GDMS en varios laboratorios para unificar el protocolo y los parámetros para determinar trazas de impurezas en aleaciones de aluminio-cobre, aluminio-silicio y aluminio-cobre-silicio. El objetivo es mejorar la concordancia de los datos de análisis entre laboratorios. Este método de prueba también está dirigido a los usuarios de análisis GDMS como ayuda para comprender el método de determinación y la importancia y confiabilidad de los datos GDMS informados. Para la mayoría de las especies metálicas, el límite de detección para análisis de rutina es del orden de 0,01 en peso. ppm. Con precauciones especiales, son posibles límites de detección a niveles inferiores a ppb. Este método de prueba se puede utilizar como método de referencia para productores y usuarios de materiales de aluminio-cobre, aluminio-silicio y aluminio-cobre-silicio de grado electrónico.1.1 Este método de prueba determina las concentraciones de trazas de impurezas metálicas en alta pureza (99,99 peso .% puro, o más puro, con respecto a trazas de impurezas metálicas) aleaciones de aluminio-cobre, aluminio-silicio y aluminio-cobre-silicio con los principales constituyentes de la aleación como sigue: aluminioMás de 95,0 % cobre Menos o igual a 5,0 % silicio Menos o igual a 5,0 %1.2 Este método de prueba pertenece al análisis mediante espectrómetro de masas de descarga luminiscente del sector magnético (GDMS). 1.3 Este método de prueba no incluye toda la información necesaria para completar los análisis GDMS. Para lograr la sensibilidad requerida se requiere equipo de laboratorio sofisticado controlado por computadora, utilizado hábilmente por un operador experimentado. Este método de prueba cubre los factores particulares (por ejemplo, preparación de muestras, establecimiento de factores de sensibilidad relativa, determinación de límites de detección, etc.) conocidos por el comité técnico responsable para afectar la confiabilidad de los análisis de aluminio de alta pureza. 1.4 Esta norma no pretenden abordar todos los problemas de seguridad, si los hubiera, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM F1845-97(2002) Historia

• 2008 ASTM F1845-08(2016) Método de prueba estándar para trazas de impurezas metálicas en aleaciones de aluminio-cobre, aluminio-silicio y aluminio-cobre-silicio de grado electrónico mediante espectrómetro de masas de descarga incandescente de alta resolución de masa
• 2008 ASTM F1845-08 Método de prueba estándar para trazas de impurezas metálicas en aleaciones de aluminio-cobre, aluminio-silicio y aluminio-cobre-silicio de grado electrónico mediante espectrómetro de masas de descarga incandescente de alta resolución de masa
• 1997 ASTM F1845-97(2002) Método de prueba estándar para trazas de impurezas metálicas en aleaciones de aluminio-cobre, aluminio-silicio y aluminio-cobre-silicio de grado electrónico mediante espectrómetro de masas de descarga incandescente de alta reducción de masa
• 1997 ASTM F1845-97 Método de prueba estándar para trazas de impurezas metálicas en aleaciones de aluminio-cobre, aluminio-silicio y aluminio-cobre-silicio de grado electrónico mediante espectrómetro de masas de descarga incandescente de alta reducción de masa