El análisis Auger se utiliza para determinar la composición elemental de las primeras capas atómicas, normalmente de 0,5 a 2,0 nm de espesor, de la superficie de una muestra. En combinación con la pulverización catódica de iones de gas inerte, se utiliza para determinar el perfil de profundidad de la pulverización catódica hasta una profundidad de unos pocos micrómetros. La muestra es normalmente un conductor sólido, semiconductor o aislante. Para los aisladores, es posible que se requieran disposiciones para el control de la acumulación de carga en la superficie (consulte la Guía E 1523). Las aplicaciones típicas incluyen el análisis de depósitos de películas delgadas o capas superpuestas segregadas sobre sustratos metálicos o de aleaciones. La topografía de la muestra puede variar desde una muestra lisa y pulida hasta una superficie de fractura rugosa. El análisis Auger de muestras con especies volátiles que se evaporan en el entorno de vacío ultraalto de la cámara Auger y sustancias que son susceptibles a daños por rayos X o electrones, como compuestos orgánicos, pueden requerir técnicas especiales que no se tratan en este documento. (Ver Guía E 983.) 1.1 Esta práctica describe los pasos necesarios para la identificación de elementos en un espectro Auger determinado obtenido utilizando espectrómetros de electrones convencionales. Se consideran los espectros mostrados como la distribución de energía de los electrones (espectro directo) o la primera derivada de la distribución de energía de los electrones. 1.2 Esta práctica se aplica a los espectros Auger generados por bombardeo de electrones o rayos X de la superficie de la muestra y se puede extender a los espectros generados. por otros métodos como el bombardeo de iones. 1.3 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.
ASTM E827-02 Historia
2008ASTM E827-08 Práctica estándar para identificar elementos por los picos en espectroscopía electrónica Auger
2007ASTM E827-07 Práctica estándar para identificar elementos por los picos en espectroscopía electrónica Auger
2002ASTM E827-02 Práctica estándar para identificar elementos por los picos en espectroscopía electrónica Auger
1995ASTM E827-95 Práctica estándar para identificar elementos por los picos en espectroscopía electrónica Auger