ASTM E493-06 Métodos de prueba estándar para fugas utilizando el detector de fugas del espectrómetro de masas en el modo de prueba de adentro hacia afuera
Los métodos A o B son útiles para probar dispositivos herméticamente sellados con volúmenes internos. Se han establecido tasas de fuga máximas aceptables para dispositivos microelectrónicos para garantizar que las características de rendimiento no se vean afectadas por fugas de aire, vapor de agua u otros contaminantes durante la vida útil proyectada esperada. Se debe tener cuidado de controlar la presión de bombardeo, el tiempo de bombardeo y el tiempo de permanencia después del bombardeo o los resultados pueden variar sustancialmente. 1.1 Estos métodos de prueba cubren procedimientos para probar dispositivos que están sellados antes de la prueba, como semiconductores, relés herméticamente cerrados, dispositivos pirotécnicos. , etc., en busca de fugas a través de las paredes del recinto. Se pueden utilizar con diversos grados de sensibilidad (dependiendo del volumen interno, la resistencia del recinto, el tiempo disponible para la preparación de la prueba y las características de sorción del material del recinto para el helio). En la práctica general, los límites de sensibilidad son de 4,4 · 1015 a 4,4 · 10 11 moles/s (109 cm3/s estándar a 105 cm3/s estándar a 0 °C) para el helio, aunque en algunas circunstancias estos límites pueden excederse durante varias décadas en cualquier dirección. .1.2 Se describen dos métodos de prueba: 1.2.1 Método de prueba APreparación de la pieza de prueba mediante bombardeo.1.2.2 Método de prueba BPreparación de la pieza de prueba mediante llenado previo. Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. . Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.
ASTM E493-06 Historia
2022ASTM E493/E493M-11(2022) Práctica estándar para fugas utilizando el detector de fugas del espectrómetro de masas en el modo de prueba de adentro hacia afuera
2017ASTM E493/E493M-11(2017) Práctica estándar para fugas utilizando el detector de fugas del espectrómetro de masas en el modo de prueba de adentro hacia afuera
2011ASTM E493/E493M-11 Práctica estándar para fugas utilizando el detector de fugas del espectrómetro de masas en el modo de prueba de adentro hacia afuera
2006ASTM E493-06 Métodos de prueba estándar para fugas utilizando el detector de fugas del espectrómetro de masas en el modo de prueba de adentro hacia afuera
1997ASTM E493-97 Métodos de prueba estándar para fugas utilizando el detector de fugas del espectrómetro de masas en el modo de prueba de adentro hacia afuera