Esta guía define un procedimiento para probar los componentes que se consideran para su instalación en un sistema de distribución de gas de alta pureza. Se espera que la aplicación de esta guía produzca datos comparables entre los componentes probados con fines de calificación para esta instalación. Esta guía establece un procedimiento para determinar la composición elemental y las características metalúrgicas del metal utilizado para fabricar componentes para sistemas de distribución de gas de alta pureza en la industria de semiconductores. Se puede esperar que la composición y la metalurgia del acero inoxidable afecten propiedades de importancia para esta aplicación, incluida la rugosidad de la superficie, la incidencia de defectos en la superficie, la pasivación, la resistencia a la corrosión y la soldadura.1.1 Esta guía cubre aleaciones metálicas resistentes a la corrosión de la clase general de acero inoxidable. , que contienen cromo, níquel, manganeso y silicio como adiciones principales de aleación y posiblemente molibdeno, que están calificados o especificados para los materiales de componentes utilizados en sistemas de suministro de gas de alta pureza para la industria de semiconductores. Esta guía está destinada principalmente a realizar pruebas para determinar la conformidad con la composición aplicable y las especificaciones metalúrgicas según lo establecido en las especificaciones de producto del proveedor o en las especificaciones de compra del cliente, o ambas. 1.2 Los elementos analizados y reportados en esta guía son los siguientes: 1.2.1 Las adiciones de aleación de cromo, níquel y molibdeno (si se especifican en la aleación, como en el tipo 316L), 1.2.2 Los elementos menores y residuales manganeso, silicio, cobre, cobalto y estabilizadores como titanio y columbio (niobio), si están presentes, 1.2.3 Carbono, azufre y fósforo, 1.2.4 Gases nitrógeno y oxígeno, 1.2.5 Cualquier adición adicional de elementos menores que pueda realizarse como parte de la fusión y prácticas de fundición, como aluminio y calcio, y 1.2.6 Se describen técnicas analíticas y de informes estándar disponibles para estos elementos. 1.3 Las características metalúrgicas que se analizarán e informarán son el contenido de inclusiones, la estructura del grano, las propiedades mecánicas y la susceptibilidad a la corrosión intergranular. 1.4 Limitaciones: 1.4.1 Esta guía se limita a aleaciones metálicas resistentes a la corrosión de la clase general indicada en el Alcance. 1.4.2 Los métodos de prueba citados en esta guía no pretenden excluir el uso de otras técnicas generalmente aceptadas de precisión y sesgo equivalentes o superiores demostrados. 1.4.3 La inclusión de procedimientos de prueba y análisis para cualquier elemento o característica metalúrgica determinada en esta guía no debe interpretarse como un requisito para la incorporación de ese elemento o característica metalúrgica en ninguna especificación. 1.5 Los valores indicados en unidades SI deben considerarse como estándar. Las unidades pulgada-libra que aparecen entre paréntesis son sólo para información. 1.6 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.
ASTM F1376-92(2005) Historia
2020ASTM F1376-92(2020) Guía estándar para análisis metalúrgico de componentes del sistema de distribución de gas