BS ISO 18114:2003
Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de factores de sensibilidad relativa a partir de materiales de referencia implantados con iones

Estándar No.

BS ISO 18114:2003

Fecha de publicación

2003

Organización

British Standards Institution (BSI)

Estado

 2021-06

Remplazado por

BS ISO 18114:2021

Ultima versión

BS ISO 18114:2021

Reemplazar

02/122922 DC:2002

Alcance

Esta norma internacional especifica un método para determinar factores de sensibilidad relativa (RSF) para espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS) a partir de materiales de referencia implantados con iones. El método es aplicable a muestras en las que la matriz tiene una composición química uniforme y en las que la concentración máxima de las especies implantadas no supera el uno por ciento atómico.

BS ISO 18114:2003 Historia

• 2021 BS ISO 18114:2021 Cambios rastreados. Análisis químico de superficies. Espectrometría de masas de iones secundarios. Determinación de factores de sensibilidad relativa a partir de materiales de referencia implantados con iones.
• 2003 BS ISO 18114:2003 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de factores de sensibilidad relativa a partir de materiales de referencia implantados con iones