DIN 50451-2:2003
Ensayos de materiales para la tecnología de semiconductores - Determinación de oligoelementos en líquidos - Parte 2: Calcio (Ca), cobalto (Co), cromo (Cr), cobre (Cu), hierro (Fe), níquel (Ni) y zinc (Zn ) en ácido fluorhídrico con espectros de emisión inducidos por plasma

Estándar No.

DIN 50451-2:2003

Fecha de publicación

2003

Organización

German Institute for Standardization

Estado

Remplazado por

DIN 50451-2:2003-04

Ultima versión

DIN 50451-2:2003-04

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DIN 50451-2:1990 DIN 50451-2:2002

Alcance

El documento especifica un método para analizar el ácido fluorhídrico en busca de trazas metálicas de cobalto (Co), cromo (Cr), cobre (Cu), hierro (Fe) y níquel (Ni) relevantes para la tecnología de semiconductores. Para la determinación se utiliza espectroscopia de emisión con excitación de plasma (por ejemplo, plasma acoplado inductivamente (ICP) o plasma de corriente continua (DCP)). El campo de aplicación abarca fracciones de masa de oligoelementos desde 1 ng/g hasta 1000 ng/g.#,,#

DIN 50451-2:2003 Historia

• 2003 DIN 50451-2:2003-04 Ensayos de materiales para la tecnología de semiconductores - Determinación de oligoelementos en líquidos - Parte 2: Calcio (Ca), cobalto (Co), cromo (Cr), cobre (Cu), hierro (Fe), níquel (Ni) y zinc (Zn ) en ácido fluorhídrico con especificación de emisión inducida por plasma...
• 2003 DIN 50451-2:2003 Ensayos de materiales para la tecnología de semiconductores - Determinación de oligoelementos en líquidos - Parte 2: Calcio (Ca), cobalto (Co), cromo (Cr), cobre (Cu), hierro (Fe), níquel (Ni) y zinc (Zn ) en ácido fluorhídrico con espectros de emisión inducidos por plasma
• 0000 DIN 50451-2:2002
• 0000 DIN 50451-2:1990