Esta norma especifica que, entre las formas superficiales de las finas películas cerámicas formadas sobre sustratos, la rugosidad media aritmética Ra oscila entre 1 y 30 nm, y la longitud media RSm de los elementos de la curva de rugosidad oscila entre 0,04 y 2,5 nm. para medir la rugosidad de la superficie en μm utilizando un microscopio de fuerza atómica.
JIS R 1683:2007 Documento de referencia
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