JIS K 0146:2002
Análisis químico de superficies - Perfilado de profundidad de sputtering - Optimización utilizando sistemas en capas como materiales de referencia

Estándar No.

JIS K 0146:2002

Fecha de publicación

2002

Organización

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

Ultima versión

JIS K 0146:2002

Alcance

Esta norma especifica el uso de materiales de referencia adecuados de una o varias capas para obtener una resolución de profundidad óptima en función de las condiciones de medición en espectroscopia de electrones Auger, espectroscopia de fotoelectrones de rayos X y espectrometría de masas de iones secundarios. Se especifican los parámetros de análisis de profundidad. Esta norma no aborda el uso de sistemas multicapa especiales, por ejemplo capas dopadas delta.

JIS K 0146:2002 Historia

• 2002 JIS K 0146:2002 Análisis químico de superficies - Perfilado de profundidad de sputtering - Optimización utilizando sistemas en capas como materiales de referencia