DIN 50451-4:2007
Ensayos de materiales para tecnología de semiconductores - Determinación de oligoelementos en líquidos - Parte 4: Determinación de 34 elementos en agua ultrapura mediante espectrometría de masas con plasma acoplado inductivamente (ICP-MS)

Estándar No.

DIN 50451-4:2007

Fecha de publicación

2007

Organización

German Institute for Standardization

Estado

Remplazado por

DIN 50451-4:2007-02

Ultima versión

DIN 50451-4:2007-02

Reemplazar

DIN 50451-4:2005

Alcance

Esta norma especifica un método de prueba para la determinación de 34 elementos en agua ultrapura mediante espectrometría de masas con plasma acoplado inductivamente (ICP-MS). El método es aplicable a fracciones de masa de elementos desde 10 ng/kg hasta 1000 ng/kg.

DIN 50451-4:2007 Documento de referencia

• DIN 32645 Análisis químico - Límite de decisión, límite de detección y límite de determinación en condiciones de repetibilidad - Términos, métodos, evaluación*， 2008-11-01 Actualizar
• DIN 51401-1 Espectrometría de absorción atómica (AAS) - Parte 1: Términos
• DIN EN ISO 14644-1 Salas blancas y ambientes controlados asociados - Parte 1: Clasificación de la limpieza del aire por concentración de partículas (ISO 14644-1:2015); Versión alemana EN ISO 14644-1:2015*， 2016-06-01 Actualizar
• DIN EN ISO 8655-2 Aparato volumétrico de pistón. Parte 2: Pipetas (ISO 8655-2:2022); Versión alemana EN ISO 8655-2:2022*， 2022-11-01 Actualizar

DIN 50451-4:2007 Historia

• 2007 DIN 50451-4:2007-02 Ensayos de materiales para tecnología de semiconductores - Determinación de oligoelementos en líquidos - Parte 4: Determinación de 34 elementos en agua ultrapura mediante espectrometría de masas con plasma acoplado inductivamente (ICP-MS)
• 2007 DIN 50451-4:2007 Ensayos de materiales para tecnología de semiconductores - Determinación de oligoelementos en líquidos - Parte 4: Determinación de 34 elementos en agua ultrapura mediante espectrometría de masas con plasma acoplado inductivamente (ICP-MS)
• 0000 DIN 50451-4:2005