BS ISO 18516:2006
Análisis químico de superficies - Espectroscopia de electrones Auger y espectroscopia de fotoelectrones de rayos X - Determinación de la resolución lateral

Estándar No.

BS ISO 18516:2006

Fecha de publicación

2006

Organización

British Standards Institution (BSI)

Estado

Remplazado por

BS ISO 18516:2006(2010)

Ultima versión

BS ISO 18516:2006(2010)

Alcance

ISO 18516:2006 describe tres métodos para medir la resolución lateral alcanzable en espectrómetros de electrones Auger y espectrómetros de fotoelectrones de rayos X en configuraciones definidas. El método de regla es adecuado para instrumentos donde se espera que la resolución lateral sea mayor que 1 micrómetro. El método de la cuadrícula es adecuado si se espera que la resolución lateral sea inferior a 1 micrómetro pero superior a 20 nm. El método de la isla de oro es adecuado para instrumentos en los que se espera que la resolución lateral sea inferior a 50 nm. Los anexos A, B y C proporcionan ejemplos ilustrativos de la medición de la resolución lateral.

BS ISO 18516:2006 Historia

• 0000 BS ISO 18516:2006(2010)
• 2006 BS ISO 18516:2006 Análisis químico de superficies - Espectroscopia de electrones Auger y espectroscopia de fotoelectrones de rayos X - Determinación de la resolución lateral