GB/T 20176-2006
Análisis químico de superficies. Espectrometría de masas de iones secundarios. Determinación de la concentración atómica de boro en silicio utilizando materiales dopados uniformemente. (Versión en inglés)
- Estándar No.
- GB/T 20176-2006
- Idiomas
- Chino, Disponible en inglés
- Fecha de publicación
- 2006
- Organización
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Ultima versión
- GB/T 20176-2006
- Alcance
- Este estándar especifica el método de espectrometría de masas de iones secundarios para determinar la concentración atómica de boro en silicio monocristalino utilizando un dopante homogéneo calibrado (calibrado con una sustancia de referencia implantada con boro). Es adecuado para concentraciones uniformes de dopaje con boro que oscilan entre 1×1016 átomos/cm3 y 1×1020 átomos/cm3.
GB/T 20176-2006 Documento de referencia
- ISO 5725-2:1994 Exactitud (veracidad y precisión) de los métodos y resultados de medición. Parte 2: Método básico para la determinación de la repetibilidad y reproducibilidad de un método de medición estándar.
GB/T 20176-2006 Historia
- 2006 GB/T 20176-2006 Análisis químico de superficies. Espectrometría de masas de iones secundarios. Determinación de la concentración atómica de boro en silicio utilizando materiales dopados uniformemente.
