GB/T 20175-2006 Análisis químico de superficies. Perfilado de profundidad de sputter. Optimización utilizando sistemas estratificados como materiales de referencia. (Versión en inglés)
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Ultima versión
GB/T 20175-2006
Alcance
Para optimizar la configuración de los instrumentos de espectroscopia de electrones Auger, espectroscopia de fotoelectrones de rayos X y espectrometría de masas de iones secundarios para lograr una resolución de profundidad, este estándar utiliza materiales de referencia de sistemas de películas de una sola capa y de múltiples capas apropiados para proporcionar un análisis de profundidad de pulverización optimizado. Una guía de parámetros. Esta norma no cubre el uso de sistemas multicapa especiales (como, por ejemplo, varios sistemas de capas dopadas).
GB/T 20175-2006 Historia
2006GB/T 20175-2006 Análisis químico de superficies. Perfilado de profundidad de sputter. Optimización utilizando sistemas estratificados como materiales de referencia.