ISO 14606:2000
Análisis químico de superficies - Perfilado de profundidad de sputtering - Optimización utilizando sistemas en capas como materiales de referencia

Estándar No.

ISO 14606:2000

Fecha de publicación

2000

Organización

International Organization for Standardization (ISO)

Estado

Remplazado por

ISO 14606:2015

Ultima versión

ISO 14606:2022

Alcance

Esta norma internacional brinda orientación sobre la optimización de los parámetros de perfilado de profundidad de pulverización catódica utilizando materiales de referencia apropiados de una o varias capas para lograr una resolución de profundidad óptima en función de la configuración del instrumento en espectroscopia de electrones Auger, espectroscopia de fotoelectrones de rayos X y masa de iones secundarios. espectrometría. Esta norma internacional no pretende cubrir el uso de sistemas multicapa especiales como las capas dopadas delta.

ISO 14606:2000 Historia

• 2022 ISO 14606:2022 Análisis químico de superficies. Perfilado de profundidad de pulverización. Optimización utilizando sistemas en capas como materiales de referencia.
• 2015 ISO 14606:2015 Análisis químico de superficies - Perfilado de profundidad de sputtering - Optimización utilizando sistemas en capas como materiales de referencia
• 2000 ISO 14606:2000 Análisis químico de superficies - Perfilado de profundidad de sputtering - Optimización utilizando sistemas en capas como materiales de referencia