Esta norma especifica los requisitos técnicos, métodos de prueba, reglas de inspección, señales, embalaje, transporte y almacenamiento de equipos de recubrimiento al vacío. Esta norma es aplicable a los equipos de recubrimiento al vacío por evaporación, pulverización catódica y revestimiento iónico (en adelante, equipos) con una presión en el rango de 10-4~10-3Pa.
GB/T 11164-1999 Historia
2011GB/T 11164-2011 Especificaciones genéricas de la planta de recubrimiento al vacío.
1999GB/T 11164-1999 Especificaciones genéricas de la planta de recubrimiento al vacío.