DIN 50441-2:1998 Ensayos de materiales para la tecnología de semiconductores. Determinación de las dimensiones geométricas de obleas semiconductoras. Parte 2: Ensayos del perfil de los bordes.
El documento especifica cuatro métodos de prueba para determinar el perfil del borde de las obleas semiconductoras. Tres métodos se basan en la proyección óptica, el cuarto método consiste en la determinación de la longitud del perfil mediante un microscopio de medición.#,,#
DIN 50441-2:1998 Historia
1998DIN 50441-2:1998 Ensayos de materiales para la tecnología de semiconductores. Determinación de las dimensiones geométricas de obleas semiconductoras. Parte 2: Ensayos del perfil de los bordes.