JIS H 0615:1996 Método de prueba para la determinación de concentraciones de impurezas en cristales de silicio mediante espectroscopia de fotoluminiscencia.
Esta norma especifica el método para determinar la concentración de impurezas del silicio monocristalino y multicristalino mediante fotoluminiscencia. Los elementos de impureza mensurables son boro (B), aluminio (Al), fósforo (P) y arsénico (As), y el rango de concentración mensurable es de 1×1011 a 5×015 átomos/cm3 (0,002 a 100 ppba).
JIS H 0615:1996 Historia
2021JIS H 0615:2021 Método de prueba para la determinación de concentraciones de impurezas en cristales de silicio mediante espectroscopia de fotoluminiscencia.
1996JIS H 0615:1996 Método de prueba para la determinación de concentraciones de impurezas en cristales de silicio mediante espectroscopia de fotoluminiscencia.