DIN 50441-1:1996
Ensayos de materiales para tecnología de semiconductores. Determinación de las dimensiones geométricas de obleas semiconductoras. Parte 1: Espesor y variación de espesor.

Estándar No.

DIN 50441-1:1996

Fecha de publicación

1996

Organización

German Institute for Standardization

Estado

Ultima versión

DIN 50441-1:1996

Alcance

El método cubre la determinación del espesor de obleas semiconductoras circulares o en forma de D con cualquier calidad de superficie mediante el uso de instrumentos de contacto y sin contacto para medir el espesor.

DIN 50441-1:1996 Historia

• 1996 DIN 50441-1:1996 Ensayos de materiales para tecnología de semiconductores. Determinación de las dimensiones geométricas de obleas semiconductoras. Parte 1: Espesor y variación de espesor.