DIN 50452-3:1995
Ensayos de materiales para tecnología de semiconductores. Método de ensayo para análisis de partículas en líquidos. Parte 3: Calibración de contadores ópticos de partículas.

Estándar No.

DIN 50452-3:1995

Fecha de publicación

1995

Organización

German Institute for Standardization

Estado

Remplazado por

DIN 50452-3:1995-10

Ultima versión

DIN 50452-3:1995-10

Alcance

El documento describe métodos para determinar las desviaciones de medición del tamaño de las partículas, las concentraciones de partículas y la capacidad de resolución de los contadores ópticos de partículas basándose en la medición de la dispersión de la luz láser.#,,#

DIN 50452-3:1995 Historia

• 1995 DIN 50452-3:1995-10 Ensayos de materiales para tecnología de semiconductores. Método de ensayo para análisis de partículas en líquidos. Parte 3: Calibración de contadores ópticos de partículas.
• 1995 DIN 50452-3:1995 Ensayos de materiales para tecnología de semiconductores. Método de ensayo para análisis de partículas en líquidos. Parte 3: Calibración de contadores ópticos de partículas.