GB/T 4058-1995
Método de prueba para la detección de defectos inducidos por la oxidación en obleas de silicio pulidas. (Versión en inglés)

Estándar No.

GB/T 4058-1995

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

1995

Organización

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Estado

ser reemplazado 2010-06

Remplazado por

GB/T 4058-2009

Ultima versión

GB/T 4058-2009

Alcance

Esta norma especifica el método de inspección para detectar defectos inducidos por la oxidación en obleas pulidas de silicio. Esta norma se aplica a la detección de defectos cristalinos inducidos o mejorados en la superficie de obleas de silicio pulidas durante el proceso de oxidación de dispositivos simulados.

GB/T 4058-1995 Historia

• 2009 GB/T 4058-2009 Método de prueba para la detección de defectos inducidos por la oxidación en obleas de silicio pulidas.
• 1995 GB/T 4058-1995 Método de prueba para la detección de defectos inducidos por la oxidación en obleas de silicio pulidas.