GB/T 41153-2021
Determinación del contenido de impurezas de boro, aluminio y nitrógeno en un monocristal de carburo de silicio: espectrometría de masas de iones secundarios (Versión en inglés)
- Estándar No.
- GB/T 41153-2021
- Idiomas
- Chino, Disponible en inglés
- Fecha de publicación
- 2021
- Organización
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- Ultima versión
- GB/T 41153-2021
- Alcance
- Este documento especifica el método de prueba de espectrometría de masas de iones secundarios para el contenido de impurezas de boro, aluminio y nitrógeno en monocristales de carburo de silicio. Este documento es aplicable al análisis cuantitativo del contenido de impurezas de boro, aluminio y nitrógeno en monocristales de carburo de silicio. 1015 cm-3, la concentración del elemento (porcentaje atómico) no supera el 1%. Nota 1: El contenido del elemento que se va a medir en el monocristal de carburo de silicio se calcula mediante el número de átomos por centímetro cúbico. Nota 2: La determinación del contenido de impurezas de vanadio en un monocristal de carburo de silicio puede consultarse en este documento, y el rango de determinación es que el contenido de vanadio no sea inferior a 1×1013 cm-3.
GB/T 41153-2021 Documento de referencia
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GB/T 41153-2021 Historia
- 2021 GB/T 41153-2021 Determinación del contenido de impurezas de boro, aluminio y nitrógeno en un monocristal de carburo de silicio: espectrometría de masas de iones secundarios
