DB35/T 1248-2012 Determinación del contenido de impurezas en gases relacionados para la industria electrónica - Cromatografía de gases (Versión en inglés)
Fujian Provincial Standard of the People's Republic of China
Ultima versión
DB35/T 1248-2012
Alcance
Esta norma especifica un método para determinar el contenido de impurezas en gases relacionados utilizados en la industria electrónica mediante cromatografía de gases. Esta norma es aplicable a la determinación del contenido de hidrógeno, oxígeno (argón), nitrógeno, metano, monóxido de carbono y dióxido de carbono en gases relacionados utilizados en la industria electrónica. Los límites de detección de cada componente de impureza: hidrógeno: 0,02 μmol/mol, oxígeno (argón): 0,01 μmol/mol, nitrógeno: 0,01 μmol/mol, metano: 0,005 μmol/mol, monóxido de carbono: 0,02 μmol/mol, dióxido de carbono: 0,005 μmol/mol; rango lineal de detección de cada componente de impureza: hidrógeno, oxígeno (argón), nitrógeno ≤ 1000 μmol/mol, metano, monóxido de carbono, dióxido de carbono ≤ 2000 μmol/mol.
DB35/T 1248-2012 Historia
2012DB35/T 1248-2012 Determinación del contenido de impurezas en gases relacionados para la industria electrónica - Cromatografía de gases