Este documento especifica los requisitos técnicos, métodos de prueba, reglas de inspección, marcado, embalaje, transporte, almacenamiento y documentos adjuntos para recipientes de resina ultrapura (en adelante, recipientes) para el análisis de trazas de impurezas (nivel ng/kg ~ μg/kg ) en materiales semiconductores y el contenido del formulario de pedido.
T/CNIA 0143-2022 Historia
2022T/CNIA 0143-2022 Recipientes de resina ultrapura para análisis de trazas de impurezas de materiales semiconductores