ASTM F928-93(1999)
Métodos de prueba estándar para el contorno de bordes de obleas semiconductoras circulares y sustratos de discos rígidos

Estándar No.

ASTM F928-93(1999)

Fecha de publicación

2002

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Estado

Remplazado por

ASTM F928-02

Ultima versión

ASTM F928-02

Alcance

1.1 Estos métodos de prueba2 proporcionan medios para examinar el contorno del borde de obleas circulares de silicio, arseniuro de galio y otros materiales electrónicos, y determinar el ajuste a los límites del contorno especificados por una plantilla que define una zona permitida a través de la cual debe pasar el contorno. La aplicación principal de dicha plantilla está destinada, entre otras, a obleas a las que se les ha dado una forma de borde deliberadamente. 1.2 Se describen dos métodos de prueba. Uno es destructivo y se limita a la inspección de puntos discretos de la periferia, incluidas las partes planas. El contorno de las obleas con forma de borde deliberadamente puede no ser uniforme alrededor de toda la periferia y, por lo tanto, las ubicaciones discretas pueden ser o no representativas de toda la periferia. El otro método de prueba no es destructivo y es adecuado para inspeccionar todos los puntos de la periferia de las obleas, excepto los planos. 1.3 El método de prueba no destructivo también se puede aplicar al examen del contorno del borde de la periferia exterior de sustratos para discos rígidos utilizados para el almacenamiento magnético de datos. NOTA 1: Se interpretará que la referencia a obleas en el resto de esta norma incluye sustratos para discos rígidos, a menos que la frase "de materiales electrónicos" también esté incluida en el contexto. 1.4 Los valores indicados en unidades SI deben considerarse como estándar. Los valores entre paréntesis son sólo para información. 1.5 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM F928-93(1999) Documento de referencia

• ASTM E122 Práctica estándar para calcular el tamaño de la muestra para estimar, con un error tolerable especificado, el promedio de la característica de un lote o proceso

ASTM F928-93(1999) Historia

• 1970 ASTM F928-02
• 2002 ASTM F928-93(1999) Métodos de prueba estándar para el contorno de bordes de obleas semiconductoras circulares y sustratos de discos rígidos