YS/T 1060-2015
Determinación de otros clorosilanos en triclorosilano para epitaxia de silicio mediante cromatografía de gases (Versión en inglés)

Estándar No.

YS/T 1060-2015

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

2015

Organización

工业和信息化部

Ultima versión

YS/T 1060-2015

YS/T 1060-2015 Historia

• 2015 YS/T 1060-2015 Determinación de otros clorosilanos en triclorosilano para epitaxia de silicio mediante cromatografía de gases