European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）
Ultima versión
EN 62047-4:2010
Alcance
IEC 62047-4:2008 describe las especificaciones genéricas para sistemas microelectromecánicos (MEMS) fabricados con semiconductores, que son la base de las especificaciones dadas en otras partes de esta serie para diversos tipos de aplicaciones MEMS, como sensores, MEMS RF, excluidos los ópticos. MEMS, bio MEMS, micro TAS y MEMS de potencia. Esta norma especifica procedimientos generales para la evaluación de la calidad que se utilizarán en los sistemas IECQ-CECC y establece principios generales para describir y probar características eléctricas, ópticas, mecánicas y ambientales. IEC 62047-4:2008 ayuda en la preparación de normas que definen dispositivos y sistemas fabricados mediante tecnología de micromecanizado, incluidos, entre otros, la caracterización y manipulación de materiales, el montaje y las pruebas, el control de procesos y los métodos de medición. Los MEMS descritos en esta norma están hechos básicamente de material semiconductor. Sin embargo, las declaraciones hechas en esta norma también son aplicables a MEMS que utilizan materiales distintos de semiconductores, por ejemplo, polímeros, vidrio, metales y materiales cerámicos.
EN 62047-4:2010 Historia
2010EN 62047-4:2010 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 4: Especificación genérica para MEMS