T/GVS 005-2022
Especificación de prueba para el método de contraste del vacuómetro de diafragma de capacitancia de presión absoluta en equipos semiconductores (Versión en inglés)
- Estándar No.
- T/GVS 005-2022
- Idiomas
- Chino, Disponible en inglés
- Fecha de publicación
- 2022
- Organización
- Group Standards of the People's Republic of China
- Ultima versión
- T/GVS 005-2022
- Alcance
- Especifica los términos y definiciones, símbolos y abreviaturas, principios generales, requisitos de condiciones de prueba, prueba de precisión, prueba de precisión de repetibilidad, punto cero, prueba de coeficiente de temperatura a escala completa, procesamiento de datos, tiempo de repetición de prueba. Es adecuado para pruebas comparativas de vacuómetros de película delgada de capacitancia de voltaje absoluto para equipos semiconductores con un rango de medición de 0,01 Pa a 100 kPa.
T/GVS 005-2022 Historia
- 2022 T/GVS 005-2022 Especificación de prueba para el método de contraste del vacuómetro de diafragma de capacitancia de presión absoluta en equipos semiconductores
