UNE-EN 62047-9:2011
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 9: Medición de la fuerza de unión de oblea a oblea para MEMS (Ratificada por AENOR en junio de 2012.)

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Fecha de publicación

2012

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ES-UNE

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UNE-EN 62047-9:2011 Historia

• 2012 UNE-EN 62047-9:2011 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 9: Medición de la fuerza de unión de oblea a oblea para MEMS (Ratificada por AENOR en junio de 2012.)