SEMI M3.8-1991
Estándar para sustratos de zafiro de 150 mm

Estándar No.

SEMI M3.8-1991

Fecha de publicación

1991

Organización

Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)

Ultima versión

SEMI M3.8-1991

SEMI M3.8-1991 Historia

• 1991 SEMI M3.8-1991 Estándar para sustratos de zafiro de 150 mm