SEMI M3.6-1988
Estándar para sustratos de zafiro recuperado de 3 pulgadas

Estándar No.

SEMI M3.6-1988

Fecha de publicación

1988

Organización

Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)

Ultima versión

SEMI M3.6-1988

SEMI M3.6-1988 Historia

• 1988 SEMI M3.6-1988 Estándar para sustratos de zafiro recuperado de 3 pulgadas