SEMI M3.5-1992
Estándar para sustratos de zafiro de 100 mm

Estándar No.

SEMI M3.5-1992

Fecha de publicación

1992

Organización

Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)

Ultima versión

SEMI M3.5-1992

SEMI M3.5-1992 Historia

• 1992 SEMI M3.5-1992 Estándar para sustratos de zafiro de 100 mm