Esta norma especifica los requisitos técnicos, métodos de detección, embalaje y transporte y requisitos de seguridad del hexaclorodisilano para circuitos integrados. Entre ellos, los métodos de detección cubren principios de muestreo y juicio, determinación de componentes y determinación del contenido de elementos de impureza, etc.
T/ICMTIA 3-2020 Historia
2020T/ICMTIA 3-2020 Hexaclorodisilano para circuito integrado.