DIN EN 62047-9:2012-03
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 9: Medición de la fuerza de unión de oblea a oblea para MEMS (IEC 62047-9:2011); Versión alemana EN 62047-9:2011
- Estándar No.
- DIN EN 62047-9:2012-03
- Fecha de publicación
- 2012
- Organización
- German Institute for Standardization
- Ultima versión
- DIN EN 62047-9:2012-03
DIN EN 62047-9:2012-03 Historia
- 2012 DIN EN 62047-9:2012-03 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 9: Medición de la fuerza de unión de oblea a oblea para MEMS (IEC 62047-9:2011); Versión alemana EN 62047-9:2011
- 2012 DIN EN 62047-9:2012 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 9: Medición de la fuerza de unión de oblea a oblea para MEMS (IEC 62047-9:2011); Versión alemana EN 62047-9:2011
- 0000 DIN IEC 62047-9:2008
