UNE-EN 62047-13:2012 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 13: Métodos de ensayo de tipo flexión y corte para medir la resistencia adhesiva de estructuras MEMS (Ratificada por AENOR en junio de 2012.)
2012UNE-EN 62047-13:2012 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 13: Métodos de ensayo de tipo flexión y corte para medir la resistencia adhesiva de estructuras MEMS (Ratificada por AENOR en junio de 2012.)