DIN EN 62047-16:2015-12
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 16: Métodos de prueba para determinar tensiones residuales de películas MEMS - Métodos de curvatura de oblea y deflexión del haz en voladizo (IEC 62047-16:2015); Versión alemana EN 62047-16:2015
- Estándar No.
- DIN EN 62047-16:2015-12
- Fecha de publicación
- 2015
- Organización
- German Institute for Standardization
- Ultima versión
- DIN EN 62047-16:2015-12
DIN EN 62047-16:2015-12 Historia
- 2015 DIN EN 62047-16:2015-12 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 16: Métodos de prueba para determinar tensiones residuales de películas MEMS - Métodos de curvatura de oblea y deflexión del haz en voladizo (IEC 62047-16:2015); Versión alemana EN 62047-16:2015
- 1970 DIN EN 62047-16 E:2012-11
