NF EN 62047-9:2012
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 9: medición de la resistencia de unión de dos obleas para MEMS

Estándar No.

NF EN 62047-9:2012

Fecha de publicación

2012

Organización

Association Francaise de Normalisation

Ultima versión

NF EN 62047-9:2012

NF EN 62047-9:2012 Historia

• 2012 NF EN 62047-9:2012 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 9: medición de la resistencia de unión de dos obleas para MEMS