T/ZSA 38-2020
Método experimental para la tensión residual en obleas de SiC. (Versión en inglés)

Estándar No.

T/ZSA 38-2020

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

2020

Organización

Group Standards of the People's Republic of China

Ultima versión

T/ZSA 38-2020

Alcance

Este documento especifica el método de prueba óptica no destructiva para la tensión residual dentro de las obleas de SiC. Este documento es aplicable a obleas de SiC con un espesor de oblea apropiado y una transmitancia de luz de prueba de más del 30 % en el rango de luz visible de longitud de onda de 400 a 700 nm.

T/ZSA 38-2020 Historia

• 2020 T/ZSA 38-2020 Método experimental para la tensión residual en obleas de SiC.