GB/T 42263-2022
Determinación del contenido de nitrógeno en monocristal de silicio: método de espectrometría de masas de iones secundarios (Versión en inglés)

Estándar No.

GB/T 42263-2022

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

2022

Organización

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Ultima versión

GB/T 42263-2022

Alcance

Este documento describe un método espectrométrico de masas de iones secundarios para la determinación del contenido de nitrógeno en monocristales de silicio. Este documento es aplicable a la determinación del contenido de nitrógeno en monocristales de silicio con una concentración dopante de boro, antimonio, arsénico y fósforo inferior a 1×1020. cm-3 (0,2%).

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GB/T 42263-2022 Historia

• 2022 GB/T 42263-2022 Determinación del contenido de nitrógeno en monocristal de silicio: método de espectrometría de masas de iones secundarios