GB/T 33236-2016 Silicio policristalino. Determinación de oligoelementos. Método de espectrometría de masas por descarga luminiscente. (Versión en inglés)
Esta norma especifica el método de prueba para medir elementos de impureza en polisilicio mediante espectrometría de masas de descarga luminosa (GD-MS). Esta norma se aplica a la determinación de otros elementos de impureza en materiales de polisilicio, excepto hidrógeno y elementos de gas inerte. El rango de medición es desde la detección El límite de este método es 0,1 % (fracción de masa). El límite de detección se determina según el instrumento y las condiciones de medición utilizadas. Con una calibración de muestra estándar adecuada, también se puede medir el contenido de elementos de impureza con una fracción de masa superior al 0,1 %. Los elementos traza de impurezas en materiales de silicio monocristalino también se pueden medir con referencia a esta norma.
GB/T 33236-2016 Documento de referencia
GB/T 6682 Agua para uso en laboratorio analítico. Especificación y métodos de prueba.
ISO/TS 15338:2009 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de descarga luminosa (GD-MS) - Introducción al uso
GB/T 33236-2016 Historia
2016GB/T 33236-2016 Silicio policristalino. Determinación de oligoelementos. Método de espectrometría de masas por descarga luminiscente.