UNE-EN 62047-11:2013
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 11: Método de ensayo para coeficientes de dilatación térmica lineal de materiales autoportantes para sistemas microelectromecánicos (Ratificada por AENOR en noviembre de 2013.)

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Fecha de publicación

2013

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ES-UNE

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UNE-EN 62047-11:2013 Historia

• 2013 UNE-EN 62047-11:2013 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 11: Método de ensayo para coeficientes de dilatación térmica lineal de materiales autoportantes para sistemas microelectromecánicos (Ratificada por AENOR en noviembre de 2013.)