KS D ISO 16413:2021
Evaluación del espesor, la densidad y el ancho de la interfaz de películas delgadas mediante reflectometría de rayos X. Requisitos instrumentales, alineación y posicionamiento, recopilación de datos, análisis de datos e informes.

Estándar No.
KS D ISO 16413:2021
Fecha de publicación
2021
Organización
Korean Agency for Technology and Standards (KATS)
Ultima versión
KS D ISO 16413:2021

KS D ISO 16413:2021 Historia

  • 2021 KS D ISO 16413:2021 Evaluación del espesor, la densidad y el ancho de la interfaz de películas delgadas mediante reflectometría de rayos X. Requisitos instrumentales, alineación y posicionamiento, recopilación de datos, análisis de datos e informes.



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