BS ISO 16531:2020 Análisis químico de superficies. Perfilado de profundidad. Métodos para la alineación del haz de iones y la medición asociada de la corriente o la densidad de corriente para perfiles de profundidad en AES y XPS normas y especificaciones

Alcance: Alcance Este documento especifica métodos para la alineación del haz de iones para garantizar una buena resolución de profundidad en el perfilado de profundidad de pulverización catódica y una limpieza óptima de superficies cuando se utilizan iones de gas inerte en espectroscopia de electrones Auger (AES) y espectroscopia fotoelectrónica de rayos X (XPS). Los métodos son de dos tipos: uno involucra una copa de Faraday para medir la corriente de iones; el otro involucra métodos de imágenes. El método de la copa de Faraday también especifica las mediciones de la densidad de corriente y las distribuciones de corriente en haces de iones. Los métodos son aplicables para pistolas de iones con haces con un tamaño de punto menor o igual a 1 mm de diámetro. Los métodos no incluyen optimización de la resolución de profundidad.

BS ISO 16531:2020 Historia

2020 BS ISO 16531:2020 Análisis químico de superficies. Perfilado de profundidad. Métodos para la alineación del haz de iones y la medición asociada de la corriente o la densidad de corriente para perfiles de profundidad en AES y XPS
2013 BS ISO 16531:2013 Análisis químico de superficies. Perfilado de profundidad. Métodos para la alineación del haz de iones y la medición asociada de la corriente o la densidad de corriente para perfiles de profundidad en AES y XPS