EN 62047-11:2013 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 11: Método de prueba para coeficientes de expansión térmica lineal de materiales independientes para sistemas microelectromecánicos
European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）
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EN 62047-11:2013
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IEC 62047-11:2013 especifica el método de prueba para medir los coeficientes de expansión térmica lineal (CLTE) de materiales delgados e independientes de sistemas microelectromecánicos (MEMS) sólidos (metálicos, cerámicos, poliméricos, etc.) con una longitud entre 0 ,1 mm y 1 mm y ancho entre 10 micrómetros y 1 mm y espesor entre 0,1 micrómetro y 1 mm, que son los principales materiales estructurales utilizados para MEMS, micromáquinas y otros. Este método de prueba es aplicable para la medición de CLTE en el rango de temperatura desde temperatura ambiente hasta el 30 % de la temperatura de fusión de un material.
EN 62047-11:2013 Historia
2013EN 62047-11:2013 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 11: Método de prueba para coeficientes de expansión térmica lineal de materiales independientes para sistemas microelectromecánicos