DIN EN 62047-12:2012-06
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 12: Método de prueba de fatiga por flexión de materiales de película delgada utilizando vibración resonante de estructuras MEMS (IEC 62047-12:2011); Versión alemana EN 62047-12:2011
- Estándar No.
- DIN EN 62047-12:2012-06
- Fecha de publicación
- 2012
- Organización
- German Institute for Standardization
- Ultima versión
- DIN EN 62047-12:2012-06
DIN EN 62047-12:2012-06 Historia
- 2012 DIN EN 62047-12:2012-06 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 12: Método de prueba de fatiga por flexión de materiales de película delgada utilizando vibración resonante de estructuras MEMS (IEC 62047-12:2011); Versión alemana EN 62047-12:2011
- 2012 DIN EN 62047-12:2012 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 12: Método de prueba de fatiga por flexión de materiales de película delgada utilizando vibración resonante de estructuras MEMS (IEC 62047-12:2011); Versión alemana EN 62047-12:2011
- 0000 DIN IEC 62047-12:2010
