ISO 21466:2019
Análisis de microhaces. Microscopía electrónica de barrido. Método para evaluar dimensiones críticas mediante CD-SEM.
- Estándar No.
- ISO 21466:2019
- Fecha de publicación
- 2019
- Organización
- International Organization for Standardization (ISO)
- Ultima versión
- ISO 21466:2019
- Alcance
- Este documento especifica el modelo de estructura con parámetros relacionados, formato de archivo y procedimiento de ajuste para caracterizar los valores de dimensión crítica (CD) para oblea y fotomáscara mediante imágenes con un microscopio electrónico de barrido de dimensión crítica (CD-SEM) mediante la biblioteca basada en modelos ( MBL) El método es aplicable a la determinación del ancho de línea de una muestra, como puerta en oblea, fotomáscara, patrón de línea densa o aislada única de hasta un tamaño de 10 nm.
ISO 21466:2019 Historia
- 2019 ISO 21466:2019 Análisis de microhaces. Microscopía electrónica de barrido. Método para evaluar dimensiones críticas mediante CD-SEM.
