Este documento especifica los requisitos técnicos, métodos de prueba, reglas de inspección, marcado, etiquetas, embalaje, transporte, almacenamiento y requisitos de seguridad para el gas mixto 4,5% cloruro de hidrógeno/0,9% hidrógeno/neón para circuitos integrados. Este documento se aplica al gas mixto 4,5% cloruro de hidrógeno/0,9% hidrógeno/neón para circuitos integrados (en adelante denominado 4,5% cloruro de hidrógeno/0,9% hidrógeno/neón). Otras proporciones de componentes de mezclas de cloruro de hidrógeno/hidrógeno/neón pueden ser implementado por referencia.
T/CHBAS 33-2023 Historia
2023T/CHBAS 33-2023 Mezcla de gases para circuitos integrados 4,5% cloruro de hidrógeno/0,9% hidrógeno/neón