BS EN ISO 23216:2022 Películas a base de carbono. Determinación de propiedades ópticas de películas de carbono amorfo mediante elipsometría espectroscópica.
Alcance Este documento especifica la elipsometría espectroscópica para la determinación de propiedades ópticas (índice de refracción n y coeficiente de extinción k) y la clasificación óptica de diferentes tipos de películas de carbono amorfo dentro del plano n - k. Es aplicable a películas de carbono amorfo depositadas mediante evaporación ionizada, pulverización catódica, deposición por arco, deposición química de vapor asistida por plasma, técnicas de filamento caliente y otras. No se aplica a películas de carbono modificadas con metales o silicio, películas de carbono amorfo que tengan un gradiente de composición/propiedad en el espesor, pinturas y barnices.
BS EN ISO 23216:2022 Historia
2023BS EN ISO 23216:2022 Películas a base de carbono. Determinación de propiedades ópticas de películas de carbono amorfo mediante elipsometría espectroscópica.