T/GVS 002-2021
Especificación genérica para una planta de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón de alta precisión (Versión en inglés)
- Estándar No.
- T/GVS 002-2021
- Idiomas
- Chino, Disponible en inglés
- Fecha de publicación
- 2021
- Organización
- Group Standards of the People's Republic of China
- Ultima versión
- T/GVS 002-2021
- Alcance
- Especifica los términos y definiciones, composición, requisitos técnicos, métodos de prueba, reglas de inspección, marcado, embalaje, transporte y almacenamiento de equipos de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón de alta precisión. Es adecuado para equipos de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón de alta precisión (en lo sucesivo denominados "equipos") con una presión máxima en el rango de 10-5Pa ~ 10-3Pa.
T/GVS 002-2021 Historia
- 2021 T/GVS 002-2021 Especificación genérica para una planta de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón de alta precisión
